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布魯克InSight CAP自動(dòng)原子力顯微鏡在*技術(shù)節(jié)點(diǎn)上，利用多圖案光刻技術(shù)對(duì)CMP提出了納米工藝控制要求，以滿(mǎn)足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構(gòu)建，可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進(jìn)平面度。

布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡具有AutoMET™計(jì)量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計(jì)量和納米檢查系統(tǒng)。作為Dimension Edge AFM平臺(tái)的擴(kuò)展，Edge PSS融合了Dimension AFM系統(tǒng)所享有的令人難以置信的價(jià)值和分辨率，同時(shí)還提供了產(chǎn)品

布魯克Dimension HPI原子力顯微鏡（AFM）系列在為工業(yè)計(jì)量應(yīng)用提供的可用速度和性能方面享有悠久的聲譽(yù)。Dimension HPI和PRO系統(tǒng)是專(zhuān)為大批量生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)的，能夠自動(dòng)測(cè)量多種A??FM模式，同時(shí)確保大程度的易用性和低的每次測(cè)量成本，以進(jìn)行質(zhì)量控制，質(zhì)量保證和故障分析。

布魯克Dimension FastScan原子力顯微鏡分辨率成像—無(wú)論何時(shí)，不論哪次 高帶寬，從而快速掃描，觀(guān)察實(shí)時(shí)變化 潛力無(wú)限—極其靈活的開(kāi)放式架構(gòu) 獲得較全面的納米尺度的定量特性參數(shù) 超乎想象的簡(jiǎn)單

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傅立葉紅外光譜儀HTS-XT常規(guī)傅立葉紅外光譜儀 布魯克光譜提供各種可應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室的常規(guī)應(yīng)用分析的傅立葉紅外光譜儀。

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布魯克ALPHA II緊湊型FTIR光譜儀FTIR光譜儀ALPHA II結(jié)合了出色的質(zhì)量和較小的占地面積，并在用戶(hù)便利性方面樹(shù)立了*。借助集成的平板電腦和基于觸摸的操作，F(xiàn)TIR光譜從未如此簡(jiǎn)單。